Ciljna vrednost relativne vlažnosti v čisti sobi s polprevodniki (FAB).

Ciljna vrednost relativne vlažnosti v čisti sobi s polprevodniki (FAB) je približno 30 do 50 %, kar omogoča ozko mejo napake ±1 %, na primer v coni litografije – ali celo manj pri obdelavi z daljnim ultravijoličnim sevanjem (DUV). območje – medtem ko se drugje lahko sprosti na ±5%.
Ker ima relativna vlažnost vrsto dejavnikov, ki lahko zmanjšajo splošno učinkovitost čistih prostorov, vključno z:
1. rast bakterij;
2. Razpon udobja sobne temperature za osebje;
3. Pojavi se elektrostatični naboj;
4. korozija kovin;
5. Kondenzacija vodne pare;
6. Degradacija litografije;
7. Absorpcija vode.

Bakterije in drugi biološki onesnaževalci (plesni, virusi, glive, pršice) lahko uspevajo v okoljih z relativno vlažnostjo nad 60 %. Nekatere bakterijske združbe lahko rastejo pri relativni vlažnosti nad 30 %. Podjetje verjame, da je treba vlažnost nadzorovati v območju od 40 % do 60 %, kar lahko zmanjša vpliv bakterij in okužb dihal.

Relativna vlažnost v razponu od 40 % do 60 % je tudi zmerno območje za človekovo udobje. Zaradi prevelike vlažnosti se lahko ljudje počutijo zatohlega, medtem ko lahko vlažnost pod 30 % povzroči občutek suhe, razpokane kože, nelagodje pri dihanju in čustveno nezadovoljstvo.

Visoka vlažnost dejansko zmanjša kopičenje elektrostatičnega naboja na površini čistih prostorov – želeni rezultat. Nizka vlažnost je idealna za kopičenje naboja in potencialno škodljiv vir elektrostatične razelektritve. Ko relativna vlažnost preseže 50 %, začnejo elektrostatični naboji hitro razpadati, ko pa je relativna vlažnost manjša od 30 %, lahko dolgo časa ostanejo na izolatorju ali neozemljeni površini.

Relativna vlažnost med 35 % in 40 % se lahko uporablja kot zadovoljiv kompromis, čisti prostori s polprevodniki pa običajno uporabljajo dodatne kontrole za omejitev kopičenja elektrostatičnih nabojev.

Hitrost številnih kemijskih reakcij, vključno s korozijskimi procesi, se bo povečala s povečanjem relativne vlažnosti. Vse površine, ki so izpostavljene zraku okoli čiste sobe, so hitre.